Konumohe Mirror Inline Magnetron Sputtering Raina kua hangaia mo te putanga teitei o te kaupapa hanga whakaata karaihe.Hei whakakakahu i te karaehe nui ake me te tiaki i te papa karaihe pakarukaru, ina koa mo nga pepa rahi, ka mahia e matou he momo raina whakapae.He raina whakakikorua magnetron tonu, me te ruuma pupuhi taratara o mua me muri, a i muri i te ruma whakawhiti, i mua i muri i muri i te ruuma pupuhi pai, he ruuma papaa, ruma whakakikorua tae.
Ko te tohu tohu: ko nga katoi e pupuhi ana i te aukumeron porotakaroa, i nga cathodes mahere ranei.
Te puna hiko: te tuku hiko me te hiko teitei DC, MF magnetron sputtering ranei
Pūnaha taraiwa: te taraiwa roera, te auau te whakarite, te punaha whakatuwhera tatau ruma momo whakauru.
Pūnaha korehau: papu diffusion (paa rapoi turbo ranei) + papu pakiaka + papu miihini