Konumohe Mirror Inline Magnetron Sputtering Raina kua hangaia mo te putanga teitei o te kaupapa hanga whakaata karaihe.Hei whakakakahu i te karaehe nui ake me te tiaki i te papa karaihe pakarukaru, ina koa mo nga pepa rahi, ka mahia e matou he momo raina whakapae.He raina whakakikorua magnetron tonu, me te ruuma pupuhi taratara o mua me muri, a i muri i te ruma whakawhiti, i mua i muri i muri i te ruuma pupuhi pai, he ruuma papaa, ruma whakakikorua tae.
Ko te tohu tohu: ko nga katoi e pupuhi ana i te aukumeron porotakaroa, i nga cathodes mahere ranei.
Te puna hiko: te tuku hiko me te hiko teitei DC, MF magnetron sputtering ranei
Pūnaha taraiwa: te taraiwa roera, te auau te whakarite, te punaha whakatuwhera tatau ruma momo whakauru.
Ko te Mirror Aluminum Roraina Magnetron Sputtering Raina ka tae mai me te maha o nga ruma korehau hei whakaoti i te paninga korehau i runga i nga pepa karaihe.
2. Kei te wātea nga ruma maha-maha me te hoahoa ruma maha-sputtering
3. Ko te raina mana autō whakapae he hanganga kotahi-mutunga me te rua-mutunga;karaihe horoi rua, paninga, rapunga, peita, whakamaroke, whakamatao ka taea te whakaoti katoa i te wa kotahi
4. Kei te whakamahi te raina whakakikorua i te PLC mo te whakahaere katoa o te tukanga me te whakauru ki te mata tae hei whakaatu i nga raraunga tukanga whakakikorua.
Paparanga o te paninga: Titanium, Chrome, Kowiri tira, Aluminium, Hiriwa, Parahi, etc.
Pūhui: TiN, TiO2, etc.
Te matotoru o te paparanga: 5-100nm
Te tuku: 8-40% i te 380-780 nm nga roangaru
Te pāmahana waipara: te pāmahana rūma
Te pehanga mutunga i muri i te 8 haora te papu-iho:
Rūma maukati urunga & ruma maukati korehau: 5×10-1 Pa ki raro ranei
Rua Buffer 1 : 3×10-3 Pa i raro ranei
Rua Sputtering: 2×10-3 Pa i raro ranei
Kaipupuri Chamber 2 : 3×10-3 Pa i raro ranei
Puta atu i te ruuma maukati me te ruma maukati korehau: 5×10-1 Pa ki raro ranei