Ko te punaha whakakikorua magnetron he momo taputapu korehau ka taea te whakamahi mo te whakamahi i nga paparanga paninga kiriata angiangi i runga i nga rawa mata rereke me nga paninga whakarewa, mahi ranei.
Nga rauemi e tika ana: te karaihe, te kirihou, te rino me etahi atu mea whakarewa, kore-whakarewa ranei (ka taea te whakakikorua ki nga taonga kore-whakahaere)
Nga ahumahi e tika ana: te whakarewa kirihou, te karaihe konumohe whakaata, te whakaata hiriwa, te karaihe ITO, te karaihe iti-E, te miihini whakakikorua i nga taputapu kai, te ngongo kaikohi hiko, te taputapu taputapu, te kiriata whakapaipai papa waea pūkoro, te whakakikorua o te tira raima, me etahi atu.
Te rahi o nga taputapu: kia rite ki nga whakaritenga a nga kaihoko, ka taea e tatou te hoahoa i nga momo rahi o te hanga ruma kotahi tatau, ruma kotahi tatau rua, taputapu ruma rua me te raina whakaputa tonu.
Tae taputapu: e waatea ana mo nga kaihoko ki te whakarite
Te hurihanga whakakikorua:> 10 meneti (e ai ki nga momo tukanga rereke, he rereke te huringa whakaputa paninga)
Kaimahi: 2-3Kohi hiko mo ia haora: > 20 kW
Rauemi: waro maitai, he kowiri tira ranei
Tukatuka hau: argon (i runga i te tukanga, hauota, acetylene, oxygen, me etahi atu. Ka taea te whakamahi)
Nga mahi tautoko: te hau kopeke, te wai whakamatao, te oumu, te hau mahi, nga mea i whaaia
He roa ake te oranga
Ko nga painga o nga paninga e whakamahia ana e te hangarau magnetron sputtering:
He maha nga tae kanapa, whakarewa
Te tiaki rakuraku pai
Nga tukanga pai-taiao
Kei te whakamahia nuitia te hangarau o te magnetron sputtering reo i roto i te paninga korehau mo nga kaupapa whakapaipai.Ka taea e tatou te whakamahi i tenei hangarau pupuhi ki te hanga kiriata whakapaipai ataahua.Ko te mea whakakikorua he mea whakarewa na te mea ko te tae i puta mai i te paninga korehau i ahu mai i te pupuhi urupare.I roto i tenei tukanga, te magnetron sputtering cathode whakaputa etahi wera, hua i roto i te deformation o te rauemi mata kore wera.